無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范

無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范
　
有關(guān)無(wú)塵室定義、建造、控制、管理等等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，在網(wǎng)絡(luò)上用?contamination control?搜尋，可以找到很多相關(guān)數(shù)據(jù)。的定義，最早是在美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國(guó)的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無(wú)共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的全球化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。

1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美國(guó)正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書(shū)面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國(guó)、日本、臺(tái)灣、與中國(guó)大陸，都還沿用209E。微粒計(jì)數(shù)器的制造商，雖然都推出滿足公制計(jì)數(shù)法的新機(jī)型，但是要等舊機(jī)器完全淘汰，恐怕還要很長(zhǎng)時(shí)間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒(méi)能取代209E。

2.SO-14644系列；美國(guó)政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)范、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒(méi)有，讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購(gòu)。
3.JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定無(wú)塵室中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔凈度的等級(jí)定義。
4.VDI 2083 (1993)：德國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈度等級(jí)的定義方式，以及潔凈度的量測(cè)技術(shù)。
5.Gost-R 50766 (1995)：俄國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，定義無(wú)塵室的分類(lèi)與一般需求。
　
以上是無(wú)塵室等級(jí)規(guī)定，與潔凈度量測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)無(wú)塵室污染控制〈也就是潔凈度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫濕度、震動(dòng)噪音等〉，也有一些重要的測(cè)試規(guī)范，因?yàn)檫@些環(huán)境影響因素，都包含在無(wú)塵室性能測(cè)試的范圍之內(nèi)。
1.IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測(cè)試規(guī)范，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測(cè)，006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測(cè)試、照度等。006 的第一版稱為006-84-T，006.2是第二版。現(xiàn)在由于 NEBB 的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。

2.NEBB 無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范第二版：這是目前最廣為流行的測(cè)試規(guī)范，提到無(wú)塵室認(rèn)證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范，可說(shuō)是IEST-0062的改良版，其測(cè)試涵蓋范圍差不多，但是測(cè)試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此 NEBB 無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測(cè)試的爭(zhēng)議，也因此 NEBB 無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān) NEBB，請(qǐng)參照本站 NEBB。

3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個(gè)子題，是有關(guān)無(wú)塵室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠，對(duì)無(wú)塵室的要求可能都不一樣。以上所列無(wú)塵室定義與無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴(yán)格來(lái)講，這些規(guī)范也只是一個(gè)參考。各公司在訂定測(cè)試規(guī)格時(shí)，應(yīng)依照自己的制程需求，在上述規(guī)范里取出自己適用的部份，并要求供貨商與測(cè)試單位照辦，必要時(shí)可以酌情修改測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，才能真正滿足自己的需求。