術語：

在潔凈室設計規(guī)范GB50073-2001中，對潔凈室進行了以下三種定義：

空氣竣工潔凈室試驗

設施已建成，全部電力連接和運行，但沒有生產(chǎn)設備、材料和人員。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

靜態(tài) at-rest

該設施已經(jīng)完工，生產(chǎn)設備已在業(yè)主和工匠的同意下安裝和操作，但沒有生產(chǎn)人員。

動態(tài) operational

該設施處于規(guī)定的運行狀態(tài)，具有指定人員并在商定的狀態(tài)下工作。

根據(jù)ISO14644，潔凈室試驗階段劃分如下：

檢測潔凈室的安裝(iq)

靜態(tài)潔凈室運行質量檢測（OQ）

動態(tài)潔凈室測試性能認證（PQ）

空潔凈室檢查（IQ）

檢查空的清洗室和安裝的設備是否符合設計，并至少檢查以下各點：

一、潔凈室設備組；

2.所有能量載體和過程介質的供應是否符合設計要求;

三。公用及輔助設備功能是否正常運行；

4、于是控制系統(tǒng)、監(jiān)視器、報警報警核實日期；

5、安裝質量；

6.安裝過濾器的完整性；

7.電源和設備是否備份，包括空氣處理設備的風量;

8、壓差；

9、氣流特性；

10。保持結構的限制；

檢查循環(huán)空氣與室外空氣的比例是否符合設計要求；

12、表面潔凈度；

13、包內是否有備件。

檢查HEPA過濾器的完整性非常重要，這對ISO6，ISO5和更高級的凈化設備尤其重要。應檢查表面潔凈度和維護結構的密封性。

靜電潔凈室檢測

這一階段的測試至少應完成以下工作：

1.確認潔凈區(qū)域劃分原則是否符合要求；

2.確定污染程度增加后潔凈室的自潔時間參數(shù);

三。測定溫度和相對濕度的穩(wěn)定性。

4、根據(jù)顆粒的數(shù)量來確定潔凈度水平；

5、確定壓差；

6.表面潔凈度應根據(jù)所需部位的顆粒和微生物污染水平來確定；

7、確定照度；

8、確定噪聲級；

9.目視檢查氣流并使用必要的工具檢查換氣次數(shù);

10。將數(shù)據(jù)結果寫入書面文檔。